,

,

,

,

,

,

Использование современного оборудования для анализа тонкопленочных структур: успехи и проблемы


Аннотация

Проанализированы результаты исследований фоточувствительных структур фоторезисторов на основе сульфида свинца методами атомно-силовой, растровой и просвечивающей электронной микроскопии для получения максимальной информации о пленках.


Ключевые слова

сульфид свинца, атомно-силовая микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия