,

,

,

Влияние термообработок на структуру, химический состав и электропроводность алмазоподобных кремний-углеродных нанокомпозитов


Аннотация

Исследованы влияния термообработок на структуру, химический и фазовый составы и электропроводность пленок тантал содержащих алмазоподобных кремний-углеродных нанокомпозитов. Показано, что изменения фазового и химического составов материала и его электрофизических свойств при термообработках обусловлены взаимодействием с кислородом воздуха. В случае изоляции состав остается неизменным при термообработках до 800°С. При этом наблюдаются лишь небольшие изменения электропроводности за счет структурных изменений в аморфной матрице.


Ключевые слова

алмазоподобные нанокомпозиты, структура, состав, электропроводность, термообработки


Библиографический список

1. DorfmanV.F. Diamond-like nanocomposites (DLN) // Thin Solid Films. 1992. V. 212. P. 267 — 273.

2. Meškinis Š.,Tamulevičienė A. Structure, properties and applications of diamond likenanocomposite (SiOx containing DLC) films: a review // Materials science (Medžiagotyra). 2011. V. 17. N. 4. P. 358 — 370.

3. Venkatraman C. et. al. Electrical properties of diamond-like nanocomposite coatings // Thin Solid Films. 1997. V. 173. P. 308 — 309.

4. Пахоменко Ю. Н, Малинкович М. Д.,Скрылева Е. А., Шупегин М. Л. Технология получения, структура и свойства металлсодержащихнанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей // Изв. ВУЗов. Материалы электронной техники. 2005. № 3 C.12 — 16.

5. Баринов А. Д., Попов А. И., Пресняков М. Ю., Шупегин М. Л. Зависимость механизмов электропроводности металлосодержащих кремний-углеродных пленок от концентрации проводящей нанофазы// Аморфные и микрокристаллические полупроводники: сборник трудов IX Междунар. конф. СПб.: Изд-во Политех. ун-та, 2014. С. 99 — 100. 

6. Пат. 2141006 РФ. Способ получения легированных углеродосодержащих покрытий /Б. Н. Пыпкин, М.Л. Шупегин // Опубликовано на CD-ROM. 10.11.1999.

7. Попов А.И., Пресняков М.Ю., Шупегин М.Л., Васильев А.Л. Наноструктурирование пленок металлосодержащих кремний-углеродных композитов // Российскиенанотехнологии. 2014. Т. 9. № 5 — 6. С. 48 — 51.

8. JaeYangWonet. al. Thermal stability evaluation of diamond-like nanocomposite coatings // Thin Solid Films. 2003. V. 434. Р. 49 — 54.

9. Wan J.Z., Pollak F.H., Dorfman B.F. Micro-raman study of diamondlike atomic scale composite films modified by continuous wave laser annealing // Appl. Phys. 1997. V. 81. N 9.P. 6407 — 6414.

10. Laurence A.J. Garvie, Alan J. Craven, Brydson R. Use of electron-energy loss near-edge fine structure in the study of minerals // American Mineralogist. 1994. V. 79. P. 411 —- 425.

11. Пресняков М.Ю. и др. Термостабильность металлосодержащих кремний-углеродных нанокомпозитов // Российскиенанотехнологии. 2014. Т. 9. № 7 — 8. С. 59 — 70.