Газовые сенсоры на основе тонких пленок SnO2–x с аддитивом Gd


Аннотация

Описана технология получения газовых сенсоров на основе тонких пленок SnO2–x с аддитивом Gd. Показано, что полученные сенсоры характеризуются высокой газовой чувствительностью, малым временем срабатывания и могут быть использованы в составе матрицы газовых сенсоров для устройства «электронный нос».


Ключевые слова

оксид олова, газовые сенсоры, добавки редкоземельных металлов, электрофизические свойства, газовая чувствительность


Библиографический список

1.Zemel J.N. Theoretical descriptions of gas-film interactions on SnOx // Thin Solid Films. 1988. V. 163. P. 189 — 202.

2.Кривецкий В.В., Румянцева М.Н., Гаськов А.М. Химическая модификация нанокристаллического диоксида олова для селективных газовых сенсоров // Успехи химии. 2013. № 82 (10). С. 917 — 941.

3.Madon M.J., Morrison S.R., Jovanovich H.B. Chemical Sensing With Solid State Devices.AcadPr, 1989.

4.Гуляев А.М. и др. Анализатор атмосферы на основе матрицы резистивных газовых сенсоров // Измерительная техника. 2006. № 2 С. 59 — 61.

5.Гуляев А.М. и др. Особенности технологии и свойства тонкопленочных сенсоров на основе SnO2, полученных реактивным магнетронным напылением // Сенсор. 2001. № 2. С. 10 — 21.

6.Гуляев А.М. и др. Повышение чувствительности и избирательной способности газовых сенсоров на основе пленок SnO2–х облучением светодиодами // Измерительная Техника. 2008. № 6. C 69 — 72.