,

,

Вакуумное ультрафиолетовое излучение плазмы, возбужденной на частоте 10-80 кГц в смеси паров ртути и инертных газов


Аннотация

Разработана методика точных измерений резонансного УФ -излучения на длине волны 185 нм ртутного разряда низкого давления на частотах 10-80 кГц. Проведено экспериментальное исследование влияния частоты разрядного тока, давления и состава смеси инертных газов на излучательные характеристики разряда. Показано, что максимальная мощность и КПД генерации излучения резонансной линии 185 нм достигается при процентном соотношении неона и аргона 30/70.


Ключевые слова

вакуумное ультрафиолетовое излучение; ртутные лампы; плазма низкого давления